TH521系列功率器件分析儀是同惠電子推出的功率器件測試儀器，于2026年正式上市 [2]。該系列主要針對SiC、GaN等功率半導(dǎo)體器件的測試需求 [1]。TH521系列最大輸出電壓達±3500V，最大輸出電流達±1800A [1-2]。它集成了IV、CV、Qg、腳本測試和DataSheet五大測試模塊，能夠一站式覆蓋功率器件的靜態(tài)和動態(tài)參數(shù)測試。該系列采用主機加擴展器的形式，提供八種測量模塊供靈活選配。此外，它還具備AI輔助編寫測試腳本和技術(shù)文檔自動生成功能。

TH521系列功率器件分析儀的主要技術(shù)參數(shù)包括最大輸出電壓±3500V、最大輸出電流±1800A、電壓測量最小分辨率100nV、電流測量最小分辨率10fA、電容測量集電極最大偏置電壓±3500V以及最高10MHz的測量頻率。

TH521系列功率器件分析儀由主機加擴展器的形式組成，有八種測量模塊，各模塊實現(xiàn)著獨特的功能特性，能夠根據(jù)客戶的實際需求靈活挑選不同型號的主機進行搭配組合。

在全球半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)向高能效、高頻化、高溫化演進的關(guān)鍵節(jié)點，第三代半導(dǎo)體材料（碳化硅SiC、氮化鎵GaN）憑借其寬禁帶特性，正成為新能源、5G通信、電動汽車等領(lǐng)域的核心支撐技術(shù)。

在此背景下，TH521系列功率器件分析儀通過創(chuàng)新架構(gòu)設(shè)計，將多參數(shù)測量、多測量模塊、超廣工作范圍等模塊集成于單臺設(shè)備，為應(yīng)用提供質(zhì)量保障。

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多參數(shù)測量/ Tonghui /

1

TH521系列實現(xiàn)單機集成IV/CV/Qg/腳本測試/DataSheet五大核心測試模塊，一站式覆蓋功率器件靜態(tài)穩(wěn)態(tài)特性與動態(tài)開關(guān)性能的全維度核心參數(shù)測試。

02

八種測量模塊/ Tonghui /

TH521系列由主機加擴展器的形式組成，從下圖可以看出，左圖部分為儀器的主機，右圖為大電流擴展器用于大電流測試。

主機#

大電流擴展器#

有八種測量模塊，各模塊實現(xiàn)著獨特的功能特性，能夠根據(jù)客戶的實際需求，靈活挑選不同型號的主機進行搭配組合。

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寬廣的工作范圍/ Tonghui /

在第三代半導(dǎo)體應(yīng)用中，新能源汽車對碳化硅（SiC）功率器件的耐高壓性能要求嚴苛。以3300V碳化硅MOSFET為例，其主驅(qū)逆變器、高壓快充等場景需承受電網(wǎng)級電壓波動與瞬態(tài)過壓沖擊，測試需采用遠超標(biāo)稱電壓的強化方案以確保可靠性。

TH521系列最大輸出電壓能達到±3500V最大輸出電流能達到±1800A，電壓測量最小分辨率100nV，電流測量最小分辨率10fA，針對電容測量集電極最大偏置電壓達到±3500V，測量頻率最高可以達到10MHz。

（TH521系列產(chǎn)品型號）

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自動創(chuàng)建Datasheet/ Tonghui /

為提升功率器件研發(fā)效率并規(guī)避人工處理海量數(shù)據(jù)導(dǎo)致的誤差風(fēng)險，TH521系列技術(shù)資料生成系統(tǒng)基于標(biāo)準化模板庫，可自動創(chuàng)建功率器件（半導(dǎo)體和元器件）的技術(shù)資料。

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AI輔助腳本編輯功能/ Tonghui /

TH521突破傳統(tǒng)儀器依賴人工編程的模式，引入AI輔助編寫Python測試腳本功能，通過自然語言交互實現(xiàn)“所思即所得"的腳本開發(fā)。這一突破性設(shè)計為功率器件研發(fā)從"經(jīng)驗驅(qū)動"向"數(shù)據(jù)驅(qū)動"的智能化轉(zhuǎn)型提供了關(guān)鍵工具支撐。

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總結(jié)/ Tonghui /

同惠電子將持續(xù)深耕半導(dǎo)體測試領(lǐng)域，聚焦SiC/GaN等功率器件需求，突破動態(tài)參數(shù)、多物理場測試等關(guān)鍵技術(shù)，研發(fā)覆蓋全周期的智能化測試方案，助力行業(yè)技術(shù)突破與國產(chǎn)化進程，為中國半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈自主可控貢獻力量。